PLP 自動化解決方案:產品背景與設計概念 隨著先進封裝(Advanced Packaging)、功率元件與新世代半導體技術快速發展,產業正逐步由傳統晶圓(Wafer)製程,轉向 大尺寸 Panel Level Packaging(PLP)。相較於晶圓,PLP 面板在尺寸、重量、翹曲量(warpage)與規格多樣性上皆大幅提升,且目前市場仍處於規格尚未完全收斂的過渡階段,常見尺寸從 300×300 mm、380×380 mm 到 510×515 mm、600×600 mm 甚至更大。這樣的市場特性,使得 PLP 自動化系統必須同時具備 高精度、強適應性與高度模組化 的設計能力。
微凸塊(Micro bump)在晶圓級與面板級封裝製程的技術挑戰、成本比較與應用領域 隨著先進封裝朝向高I/O密度與異質整合(Heterogeneous Integration)發展,微凸塊(Micro bump)因可提供比傳統焊球更小的尺寸及更高的I/O密度,成為晶片與晶片高密度互連關鍵技術之一,廣泛應用於2.5D、3D IC、Chiplet與高頻高速元件封裝。
當缺陷變得看不見:2.5D/3D 封裝時代的 AXI 關鍵角色 先進封裝的失效型態,正在往「invisible defects」集中。這類缺陷不是你想看就看得到,很多時候只有 X-ray 才能在不破壞樣品的情況下,把內部狀態看清楚。對量產來說,這件事的意義不只是“多一台設備”,而是你能不能把風險前移、把良率損失壓在前段製程。