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先進烘烤設備-Vertabake系列

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先進烘烤設備-Vertabake系列

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Vertabake是最先進且具有成本效益的晶圓批次烘烤解決方案，一次烘烤可以處理1批貨(25 片)，可選擇對批次晶圓進行垂直或水平烘烤。應用於先進封裝的預成型烘烤及預底部填充烘烤。

  • 批次烘烤，一次可烘烤1批貨 (25片) (Batch baking)
  • 可對批次晶圓進行垂直或水平烘烤
  • 傳送 :晶圓載具夾鉗(Cassette clamp)傾角設計，在搬運過程中，晶圓(Wafer)不會掉落或與晶圓載具支撐(Cassette holder)點敲擊

Vertabake系列的先進烘烤設備可應用在先進半導體封裝領域，其應用製程為：

  • 預成型烘烤
  • 預底部填充烘烤

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