SCIENTECH 先進 Wafer-on-Frame 清洗系統:次世代半導體封裝的關鍵解決方案
在完成解貼合(Debonding)後,將薄化晶圓固定於框架(Frame)上進行後續搬送、製程處理與清洗,是先進半導體封裝技術中的一大挑戰。由於薄晶圓本身具有高度脆弱性與翹曲風險,傳統清洗方式在實務上容易造成晶圓損傷,進而影響良率與可靠度。
在完成解貼合(Debonding)後,將薄化晶圓固定於框架(Frame)上進行後續搬送、製程處理與清洗,是先進半導體封裝技術中的一大挑戰。由於薄晶圓本身具有高度脆弱性與翹曲風險,傳統清洗方式在實務上容易造成晶圓損傷,進而影響良率與可靠度。
化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition,簡稱CVD)是一種常見的薄膜成長技術,通常用於固體表面上製造具有特定性質和厚度的薄膜。
乾蝕刻(Dry etching)是一種常用於微電子製程中的表面處理技術,用於在固體材料表面上創建微細的結構和圖案。它是一種非液體化學蝕刻方法,使用高能粒子(例如離子或中性粒子)或氣體化學反應去除材料表面的原子或分子,實現精準且高效的製程。