Scientech:先進濕製程設備,全面支援半導體製造
Scientech 濕製程設備成功支援 3DIC、CoWoS 與先進封裝製程,協助客戶加速新世代晶片量產導入。
化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition,簡稱CVD)是一種常見的薄膜成長技術,通常用於固體表面上製造具有特定性質和厚度的薄膜。
乾蝕刻(Dry etching)是一種常用於微電子製程中的表面處理技術,用於在固體材料表面上創建微細的結構和圖案。它是一種非液體化學蝕刻方法,使用高能粒子(例如離子或中性粒子)或氣體化學反應去除材料表面的原子或分子,實現精準且高效的製程。