ESOL(EUV Solutions)是韓國半導體先進製程的設備供應商，其主要產品為極紫外光(EUV)光罩檢測系統及EUV 薄膜穿透/反射率量測系統，專門為全球半導體先進製程的光罩提供檢測技術。
ESOL的研發團隊集結了EUV領域的各種人才，包含光源、鏡頭、系統整合等專業。
ESOL致力於提供創新的解決方案，幫助客戶實現提高性能、效率和成本效益的目標。 憑藉其在半導體行業的先進技術和豐富經驗，ESOL 能夠幫助客戶在這個快速發展的市場中保持領先地位。
FREM
FREM是一台採用EUV光源的光罩檢測系統，可以精準的量測EUV光罩上的缺陷，以確保生產時的良率
特點
- 量測時間短
- 妥善率高
- 更小的機台尺寸，更好的空間利用率
- 擴充性高
EPTR
EPTR 是一台採用EUV光源的薄膜穿透/反射率檢測系統，用於檢測EUV薄膜在多次曝光後的穿透/反射率是否符合使用需求
特點
- 量測時間短
- 全尺寸EUV薄膜量測
