UNISERS 是一家總部位於瑞士蘇黎世的半導體量測與缺陷控制尖端新創公司（創立於 2019 年，源自蘇黎世聯邦理工學院 ETH Zurich），致力於解決次世代晶片製造中最棘手的奈米級微粒污染難題。該公司的旗艦產品 UNISERS Explorer 是一款革命性的自動化在線（in-line）300mm 晶圓缺陷複檢系統。它最大的突破在於能為極微小的缺陷微粒提供「分子級別」的化學身分鑑定，協助晶圓廠以極快速度追溯污染源頭、提升晶片良率。
UNISERS Explorer
簡述
1.分子級顆粒特性分析 (Molecular Particle Characterization)：
2.革命性的奈米級靈敏度 (Revolutionary Sensitivity)：
3.獨家信號增強技術 (Innovative Signal Enhancement)
4.提升良率與節省成本 (Yield & Cost Savings)：
特點
- 分子級顆粒特性分析 (Molecular Particle Characterization)：
不同於傳統檢測設備只能「看到」有缺陷，Explorer 能夠分析顆粒的分子組成，精準識別出該污染物是屬於金屬、有機物、還是二氧化矽（Silica）等特定物質，讓工程師能直接鎖定是哪一個製程機台或管線在排污。 - 革命性的奈米級靈敏度 (Revolutionary Sensitivity)：
該系統利用獨家的光學與物理技術，能夠捕捉並識別小至 8 奈米 (nm) 的極微小奈米顆粒。 - 獨家信號增強技術 (Innovative Signal Enhancement)：
Explorer 結合了以下兩大獨門技術：
真空電漿鍍膜技術：在晶圓表面加上一層特殊的臨時薄膜，讓微小的雜質在光學顯微鏡下「發光」，大幅提高識別度。
表面增強拉曼光譜 (SERS)：透過錄製單個奈米顆粒的「分子指紋」，實現高速度、高精準度的污染種類鑑定。 - 提升良率與節省成本 (Yield & Cost Savings)：
藉由即時線上複查（In-line Review），晶圓廠能在製程早期、污染擴大前就抓出機台異常，避免整批晶圓報廢，進而優化生產良率並減少碳排放
