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FlowVIEW

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邑流微測股份有限公司(FlowVIEW Tek)引領液體監控的未來:標準化與智能化。推動濕製程微污染檢測邁向標準化與智能化,運用AI與精準數據簡化流程、穩定製程,提升效率,成為潔淨科技的國際領導品牌。

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AI粒子影像分析儀 S100

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系統提供粒子計數、粒徑、長度、圓度、影像等多項數據,並可進一步應用AI分類演算法進行深度學習,精確識別並分類各類影像,適用於製程污染監測、清潔度檢測等。支援多樣樣本來源,並提供即時分類與統計報表。

特點

  • 即時監控 Nano 顆粒分布
  • 顆粒形貌與形態可視化
  • 快速、巨量、精準分析流體中顆粒
  • 五大關鍵數據分析
  • 升級AI辨識,分類難偵測粒子
  • 機型:Imager S100
  • 量測範圍:0.1μm-10μm
  • 量測類型:Offline / Online
  • 量測參數:顆粒尺寸、圓度、長度、粒徑分佈(PSD)圖、顆粒影像
  • 主機尺寸:801 x 519 x 643 mm (±5mm)
  • 重量:42 kg (±5kg)
  • 半導體製程微污染檢測
  • 材料:圓度、分散性、團聚
  • 面板:氣泡、微汙染
  • 水質:微生物、AI分類
  • 生醫:器材潔淨度分析
  • 食品:菌影像分析
  • 液體/氣體樣本污染分析

AI粒子影像分析儀 S800

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流體智動化光學影像檢測

影像式流體光學檢測,結合粒徑分析(Sizer)與粒子計數(Counter)功能,搭配高階 AI 瑕疵檢測技術,精準分辨氣泡、結晶、粉塵等汙染源,眼見為憑最可靠,且大幅降低人工誤判率。

特點

  • 快速、巨量、精準分析流體中顆粒,一分鐘內可擷取高達100,000顆粒子
  • 圖像數據完整呈現顆粒形貌與形態
  • 一粒一粒精確計數,確保不漏掉任何顆粒
  • 多功能影像處理分析
  • AI智慧化特徵分類模式(選配)
  • 機型:Imager S800
  • 量測範圍:0.8μm-400μm
  • 量測類型:Offline / Online
  • 量測參數:顆粒尺寸、圓度、長度、粒徑分佈(PSD)圖、顆粒影像
  • 主機尺寸:465 x 365 x 300 mm (±5mm)
  • 重量:23 kg (±2kg)

可判讀半透明膠體、氣泡、不規則外緣輪廓等等物質原始樣貌,依客戶需求可提供數十種粒子輪廓資訊,適用範圍:半導體、電子製造、IC面板、工業材料、水循環、能源業、生醫製藥、食品工業

多通道液體粒子檢測系統 MLPC

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即時監控水質與處理槽狀態,直觀顯示液體中微粒子數量變化;結合多點位整合設計,提升製程效率與良率並降低設備成本,為微汙染管控解決方案。

特點

  • Online 24 小時監控:長時間連續監控粒子數量,掌握各製程階段趨勢。 
  • 建立穩定製程標準:作為機台保養與製程穩定依據;內建自動儲存功能,可保存一年數據。 
  • 一機多點位監控:9 個檢測通道,可於同一產線多位置設點並整合既有機台,降低機台成本。 
  • 缺陷預判/自動示警:門檻觸發警報、即時回傳數據,協助預判保養週期與濾心更換,降低異常成本。 
  • 多元化學液應用:顯影劑、混酸去光阻液、銅/鋁酸、DI water 等。
  • 量測範圍 0.1μm-100μm 
  • 檢測通道數 9
  • 清洗通道數 1
  • 粒子濃度限制 4,000 P/ml @ 5% coincidence error
  • 通訊傳輸 Internet / RS485 / Modbus
  • 主機尺寸 W850 x L550 x H1629 mm (±5mm)
  • 重量 105 kg(±5 kg)
  • 選擇配備 除氣泡裝置 / 液體回流系統
  • 品質節點:來料(IQC)、原料端/製程/出貨(IPQC、PQC、OQC)。 
  • 化學原料/介質:IPA、脫膜劑、顯影劑、清洗劑(KOH)、去膜劑(stripper)、化鍍/電鍍藥水、去離子水、金屬蝕刻液、剝膜液、銅酸、鋁酸。 
  • 晶圓製造:蝕刻、脫膜、微影、清洗。
  • PCB:化鍍、電鍍、蝕刻、脫膜。
  • 封裝:清洗。

臨場 SEM 液態樣品觀測解決方案

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以獨家奈米薄膜技術,在 SEM 真空環境中創造大氣腔體,讓液體樣品保持原始狀態、無需乾燥處理,並結合影像分析軟體快速產出粒徑分佈、團聚/分散、形狀、(配合 EDS 的)成分等數據,最高可觀測至 7 nm,簡化流程、縮短研發週期。

特點

  • 保真觀測: 奈米薄膜在 SEM 真空中維持液態樣品原貌,降低不確定性。
  • 整合分析: 搭配 FlowVIEW Lite,可快速分析粒徑分佈、分散/團聚、濃度、形狀、成分(配合 EDS)。
  • 解析能力: 液態量測最高解析,可見 7 nm 微粒子。
  • 相容性: 99% 各廠牌/型號 SEM(FEI/ThermoFisher/Keyence/JEOL/Hitachi/ZEISS/Phenom/TESCAN…)與多種製備工具相容。
  • 易操作: 特殊載體設計,30 秒可完成樣品封裝。
  • 產業面: 半導體、能源、生醫製藥。 
  • 示例樣品/材料: 金屬電鍍、CMP 漿料、塗料/塗層、錫膏、銀漿、鋁、銅漿、MLCC、益生菌、費洛蒙、黑黴、真菌孢子。

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