2023年4月電子報
表面輪廓儀是一種用於測量材料表面形狀和輪廓的儀器，它能夠提供高精度、高解析度的測量結果，並且在材料和半導體工業中具有廣泛的應用。
在材料工業中，表面輪廓儀可以用來測量材料表面的平整度、粗糙度、薄膜厚度等參數。這些參數對於材料的品質和性能具有重要的影響，因此表面輪廓儀在材料的製造、加工和檢測過程中都扮演著關鍵的角色。例如，在金屬材料的製造過程中，表面輪廓儀可以用來測量金屬表面的平整度和粗糙度，以確保產品符合設計要求。同樣地，在塗料和塗層的製造過程中，表面輪廓儀可以用來測量塗層的厚度和均勻性，以確保塗層的質量。
在半導體工業中，表面輪廓儀同樣具有重要的應用價值。半導體製造過程中，需要製造出極高精度的微細結構和元件，而表面輪廓儀可以用來測量這些微細結構的形狀和輪廓。例如，在半導體晶圓的製造過程中，表面輪廓儀可以用來測量晶圓表面的平整度和薄膜厚度，以確保晶圓的品質和性能。
此外，在微電子學和奈米科技領域，表面輪廓儀也被廣泛應用於測量奈米結構和細微元件的形狀和尺寸。表面輪廓儀的高精度、高分辨率的測量結果，可以幫助研究人員更好地理解和掌握奈米結構和元件的性質和行為，促進微細加工技術的發展和應用。
工業中的應用是不可或缺的，它可以幫助製造商確保產品的質量和性能，提高生產效率和產品的競爭力。隨著科技的進步和對產品品質的要求越來越高，表面輪廓儀也不斷發展和改進，以滿足不同產品和應用的需求。例如，一些新型表面輪廓儀採用了更先進的技術，如光學干涉儀、原子力顯微鏡等，可以提供更高的解析度和更廣泛的測量範圍。此外，一些表面輪廓儀還具有自動化功能，可以實現自動測量、數據處理和報告生成，提高測量效率和精度。
總之，表面輪廓儀在材料和半導體工業中具有廣泛的應用，對產品的品質和性能起著關鍵的作用。隨著技術的進步和市場的需求，表面輪廓儀的發展和應用將不斷推進，帶動產業的發展和進步。
| 優點 | 缺點 | |
| 接觸式表面輪廓儀 | ● 適用於精確度要求高的測量 ● 可以測量各種形狀和材料的物體表面 ● 精度高，可達到微米或亞微米級别 ● 可以在複雜的表面上檢測微小的特徵 ● 可以進行實時測量 | ● 測量過程中會接觸到測量物體表面，容易在表面留下刮痕或印痕 ● 容易受到表面粗糙度和彎曲度的影響 |
| 光學表面輪廓儀 | ● 不需要接觸到測量物體表面，可以避免刮痕或印痕 ● 可以在較大的測量範圍內進行測量，通常達到毫米級別 ● 可以測量表面的形狀和表面粗糙度 | ● 測量精度較接觸式低，通常達到幾十微米到百微米級別 ● |
總的來說，接觸式表面輪廓儀和光學表面輪廓儀各有優缺點，如果需要測量較大的物體或需要進行非接觸式測量，建議選擇光學表面輪廓儀。如果需要高精度的測量且物體表面複雜，建議選擇接觸式表面輪廓儀；如果需要量測物體的形狀和表面粗糙度，也可以根據具體要求進行選擇。最好的方法是在選擇儀器之前評估應用場景和測量要求，以確定哪種儀器最適合。
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針壓控制：0.03至50mg
樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
影像：在線低倍和高倍放大光學系統
圓弧校正：消除由探針弧形運動引起的誤差
軟體：簡單易用的軟體界面
生產能力：通過測序、圖案識別和SECS / GEM實現全自動化
晶圓機械傳送臂：自動加載75mm至200mm不透明（例如矽）和透明（例如藍寶石）樣品
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