Image 三十多年來，CORIAL一直為工業界和學術界提供等離子蝕刻和沉積系統。 Image Use the arrow keys to navigate between tabs 產品特點 提供LED、微機電（MEMS）、化合物半導體（GaAs, GaN, InP,…）、功率半導體之薄膜（Thin Film）及乾蝕刻（Dry Etch）設備：乾蝕刻系統（Dry Etch）化學氣相沈積設備（CVD）
