CORIAL

Plasma-Therm集團旗下的一家公司,提供LED、微機電(MEMS)、化合物半導體(GaAs, GaN, InP,…)、功率半導體之薄膜(Thin Film)及乾蝕刻(Dry Etch)設備:

  • 乾蝕刻系統(Dry Etch)
  • 化學氣相沈積設備(CVD)

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