暫時性貼合及剝離設備
玻璃解離層塗佈設備-Pyxis RL系列
辛耘與國際大廠3M合作,開發出Pyxis系列的玻璃解離層塗層設備,可為晶圓薄化(Wafer Thinning)、BGBM (Backside Grinding & Backside Metallization)及半導體先進封裝製程 中的玻璃解離層塗佈提供解決方案。
暫時性貼合設備-Pyxis TB系列
辛耘與國際大廠3M,合作開發出Pyxis系列的暫時性貼合設備,可為晶圓薄化(Wafer Thinning)及BGBM (Backside Grinding & Backside Metallization)的玻璃貼合製程提供解決方案。另辛耘憑藉在半導體領域專業的自製機台研發能力,開發出暫時性貼合設備可應用在半導體先進封裝製程。
剝離設備-Pyxis FDB與TDB系列
辛耘與國際大廠3M合作,開發出Pyxis系列的剝離設備,包含框架剝離設備(Frame Debonding Equipment )和Taiko剝離設備(Taiko Debonding Equipment),可為晶圓薄化(Wafer Thinning及BGBM (Backside Grinding & Backside Metallization)的玻璃剝離製程提供解決方案。