隨著先進封裝（Advanced Packaging）、功率元件與新世代半導體技術快速發展，產業正逐步由、Dynamic Alignment 即時修正誤差、EFEM 模組化架構支撐多尺寸演進，協助客戶在 PLP 技術尚未完全標準化的市場環境下，仍能快速導入、自信擴展，並穩健因應未來更大尺寸與更高精度的製程挑戰。
具備 Tilt 功能的機器人手臂設計概念（GPR Function）
針對 PLP 與玻璃基板在大尺寸、高重量、易翹曲的搬運特性，本自動化解決方案於機器人設計中特別導入 Tilt 傾斜功能（GPR Function），以提升面板取放過程的穩定性與對位容忍度。
此類 GPR 機器人採用 三組獨立的 Z 軸（Z1、Z2、Z3） 所構成的可傾斜平台設計，可在進行垂直升降的同時，實現面板姿態的精細調整。系統可支援約 ±2° 的傾斜角度範圍，足以補償因以下因素所造成的姿態誤差：
• 機器人手臂與末端治具在承載重型或大尺寸面板時產生的自然撓曲
• 面板翹曲（warpage）導致的非水平放置狀態
• 製程模組或對接設備本身的微小安裝誤差
• FOUP 或載具造成的面板姿態偏移
在控制邏輯上，Tilt 動作可分為三種基本運動模式：
• Pitch（沿 X 軸傾斜）：透過 Z1 與 Z2 軸差動控制實現
• Roll（沿 Y 軸傾斜）：透過 Z1 與 Z3 軸差動控制實現
• 純 Z 軸升降：Z1、Z2、Z3 軸同步運動，維持面板姿態不變
透過這樣的設計，機器人可在貼近製程模組或載具表面時，以「姿態先對齊，再進行接觸或放置」的方式運作，大幅降低因角度不匹配所導致的邊緣干涉、局部受力或玻璃破損風險。
整體而言，Tilt 功能讓機器人不再只是平移與旋轉的搬運工具，而是成為一個能主動適應實際製程環境與面板狀態的精密操作平台。此設計特別適合應用於 PLP、玻璃基板與高翹曲敏感製程，有效提升系統良率、設備容忍度與長期運轉穩定性。
Flat Panel Pre Aligner（平板預對位模組）簡介
一、功能定位（What is a Flat Panel Pre Aligner）
1. Flat Panel Pre Aligner（FPA）光學式是一個安裝於 PLP EFEM 系統內的關鍵模組，其主要功能是在機器人搬運或取放平板之前，先行完成 面板的初步位置與角度校正（Pre Alignment）。
2. 它屬於 「靜態、基準式對位」設備，與 Dynamic Alignment（動態對位）形成互補關係。
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二、設計目的（Purpose）
3. FPA 的主要目的是：
• 修正面板在 FOUP / Load Port 中的 初始擺放誤差
• 提供機器人一個 已知、穩定、可重複的對位基準
• 降低後續取放或製程模組對位的風險
• 提升整體系統穩定度與良率
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三、主要功能項目
1. 面板角度校正（Angular Alignment）
• 偵測面板相對於系統基準的旋轉角度偏差
• 透過旋轉機構將面板調整至標準角度（通常為 0°）
2. X / Y 平面中心校正（Planar Centering）
• 將面板調整至既定的中心參考位置
• 確保面板相對於機器人、製程模組的位置一致
3. 建立穩定取放基準
• 提供「對齊完成後的位置與姿態」
• 供機器人後續 Pick / Place 或 Dynamic Alignment 使用
Dynamic Alignment（動態對位）功能簡介
一、功能目的（Purpose）
Dynamic Alignment 的主要目的，是在 平板（Glass / PLP Panel）被機器手臂取放之前，即時偵測其：
• 角度偏差（Angular Offset / α）
• 橫向或縱向位置偏移（Lateral / Longitudinal Offset）
並由機器手臂在移動過程中即時補償，確保面板能 準確、平順地被取放，避免因 FOUP、公差或擺放誤差造成的對位問題。
