Toho Technology

  • 半導體成膜之應力(Stress)檢查設備。
  • 面板彩色濾光片上Photo Spacer高度量測之設備(ZYGO設備)。
  • 面板成膜平坦度、斷差、表面分析及應力(Stress)檢查設備。
  • 面板Array之線寬(Critical Dimension)量測設備。
  • 面板所使用之光罩及Cassette(卡匣)清洗設備。