Toho Technology

  • 半導體成膜之應力（Stress）檢查設備。
  • 面板彩色濾光片上Photo Spacer高度量測之設備（ZYGO設備）。
  • 面板成膜平坦度、斷差、表面分析及應力（Stress）檢查設備。
  • 面板Array之線寬(Critical Dimension)量測設備。
  • 面板所使用之光罩及Cassette（卡匣）清洗設備。

 

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