半導體、面板、LED、太陽能製程設備所使用之無線射頻電源（RF電源）、匹配器（Matching Network）、直流、交流、超高電壓電源供應器及遠距電漿系統（RPS：Remote Plasma Source）及其維修服務。高溫計 AE-LumaSense Pyrometer UV400/UVR400 for MOCVD GaN on Sapphire, GaAs etc.