FlowVIEW

邑流微測 FlowVIEW Tek 於2017年自工研院量測中心 spin off, 專注於研發更精準、更快速的液態樣本檢測,適用於觀測電化學、奈米研磨、鋰電池等領域。
產品足跡,從亞洲啟程、駐足歐美;客戶遍布日韓歐美的半導體廠、材料供應商、檢測服務商,與國家級研究單位。
專利佈局:已陸續取得台灣、大陸、日本、美國專利。在技術面上,分別布局在微熱流控制、電子束檢測、半導體檢測、生醫光學檢測與能源材料分析等領域,已建構出堅實的專利圍牆。
獲獎紀錄: 在技術發展的過程中,陸續獲得工研院專利地圖布局競賽冠軍、工研院傑出研究獎並代表工研院競逐全球百大發明獎(R&D 100)、日本Tecplanter創業競賽台灣區冠軍等。

液態電子顯微鏡 Aquarius 直覺式靜態檢測

若僅需要觀測靜態的液態樣本,Aquarius的濕式載台即能滿足基本觀測需求。
Aquarius為使用電子束檢視液體樣品的先驅,可檢測及監控塗層材料及液態樣本的原始狀態,並提供數據分析,例如粒徑分佈、分散性、均勻性、濃度、形狀、成分組成…等數值。

特點
  1. 操作簡易:特殊機械設計的液態樣品載台,可在30秒內輕鬆完成樣品裝載,提高操作效率。
  2. 高解析度:最高放大倍率達20萬倍,可清晰觀測到小於7nm的物體。
  3. 高相容性:與各種SEM型號高度兼容(FEI/ JEOL/Hitachi/ZEISS/Phenom/TSCAN TEMIC ...)並通過光學顯微鏡/熒光顯微鏡進行臨場觀測。
  4. 本系統載台與各種製備工具兼容,例如用於粉末粒度分佈的粉末分散器、用於生物樣品形態觀察的離心機、用於液體缺陷識別的膜過濾器…等。
  5. 客製化:可與矽晶圓和生物晶片基板一起放置後進行臨場觀察。
標準規範

 

應用

能源、電池產業
。電動汽車電池電極和手機電池之奈米材料研究。
。即時檢測太陽能光電材料中所使用的銀、鋁膠製程。
半導體產業、電子工業
。奈米級檢測CMP漿料、蝕刻化學品、去離子水…等。
。新一代液態產品中奈米材料製程模擬與綜合分析。
生醫藥產業
。檢測大腸桿菌和微生物等細菌。
。評估蛋白質,癌細胞,細菌等藥物開發。
材料分析
。塗料,陶瓷粉末,研磨粒子

規格

主要著重在兩大核心技術(包含MEMS & Microfluidics、Microflow control)進行產品的開發並取得自有技術之專利,情形說明如下:

MEMS & Microfluidics:利用半導體製程製作並搭配表面處理,可針對不同濕式樣品提供親疏水與linker之樣品適應性薄膜,使待檢測樣品可以自動貼覆至觀測視窗,以取得最佳影像解析度。同時藉由此奈米薄膜隔絕真空與大氣環境,解決液態樣品無法於電子束設備的真空環境下進行檢測的限制,因此可將流體傳輸至電子束設備之真空腔體內,使之優於光學繞射極限,並能於微小尺度下(解析度可達10 nm等級)。

Electron microscope, aggregation, particle, nanometer, liquid electron microscope

液態電子顯微鏡 Mercury Kit 動態流體自動控制

本系統可載入最多20種液態樣品至電子顯微鏡做流動式成像,並臨場觀測不同樣本混和的動態過程。若您的樣本具有高度腐蝕性,我們也客製化耐高酸鹼、抗腐蝕的機體。
配備的遠端監控軟體,不受地緣限制進行操控;樣本自動補充功能,使實驗過程更加簡易快速。

特點
  1. 突破式創新:突破以往電子顯微鏡下僅能觀測到靜止乾燥樣本的技術疆界

  2. 高度客製化:依照客戶需求,提供抗腐蝕、耐酸鹼套件,也可切換不同液體進料,或數種樣品混和檢測。
  3. 多重功能:同時可增加精準溫控及通電測試等實驗變數,增加實驗深度。

  4. 人性化操作:搭配可遠端操控的進階智慧量測軟體,提供使用者友善介面,清楚易上手。
標準規範

 

應用

能源、電池產業
。電動汽車電池電極和手機電池之奈米材料研究。
。即時檢測太陽能光電材料中所使用的銀、鋁膠製程。
半導體產業、電子工業
。奈米級檢測CMP漿料、蝕刻化學品、去離子水…等。
。新一代液態產品中奈米材料製程模擬與綜合分析。
生醫藥產業
。檢測大腸桿菌和微生物等細菌。
。評估蛋白質,癌細胞,細菌等藥物開發。
材料分析
。塗料,陶瓷粉末,研磨粒子

規格

主要著重在兩大核心技術(包含MEMS & Microfluidics、Microflow control)進行產品的開發並取得自有技術之專利,情形說明如下:

MEMS & Microfluidics:利用半導體製程製作並搭配表面處理,可針對不同濕式樣品提供親疏水與linker之樣品適應性薄膜,使待檢測樣品可以自動貼覆至觀測視窗,以取得最佳影像解析度。同時藉由此奈米薄膜隔絕真空與大氣環境,解決液態樣品無法於電子束設備的真空環境下進行檢測的限制,因此可將流體傳輸至電子束設備之真空腔體內,使之優於光學繞射極限,並能於微小尺度下(解析度可達10 nm等級)。

Electron microscope, aggregation, particle, nanometer, liquid electron microscope,

CLIIS offline flowing

液態電子顯微鏡 FlowVIEW Mars 精密溫度控制Kit

在液態樣本的臨場觀測實驗中,加入精密且穩定的溫度控制功能。
熱交換流體可以在流動通道中循環,進行溫度控制和流體性質監測,並允許樣品在其原始狀態下進行奈米級臨場測試。

特點
  1. 精準度:最小化的雙通道循環溫度控制模組配有熱電溫度控制組件。在緩衝液的反應範圍(10至90℃)內,溫度穩定性可控制在±0.02℃。
  2. 雙向溫控:可同時進行升溫與降溫控制,溫度控制範圍(10-100)度C ,並可進行溫度控制客製化。
  3. 多工溫度設計:可調節時間與溫度。載台內建計時功能,並配有異常警告系統,當溫度超過安全範圍,會自動重置溫度。
  4. 高相容性:與各種型號高度兼容(FEI/JEOL/Hitachi/ZEISS/Phenom/TSCAN TEMIC ...)並通過光學顯微鏡/熒光顯微鏡進行臨場觀測。
標準規範

 

應用

能源、電池產業
。電動汽車電池電極和手機電池之奈米材料研究。
。即時檢測太陽能光電材料中所使用的銀、鋁膠製程。
半導體產業、電子工業
。奈米級檢測CMP漿料、蝕刻化學品、去離子水…等。
。新一代液態產品中奈米材料製程模擬與綜合分析。
生醫藥產業
。檢測大腸桿菌和微生物等細菌。
。評估蛋白質,癌細胞,細菌等藥物開發。
材料分析
。塗料,陶瓷粉末,研磨粒子

Venus系統為電極測試提供快速組裝方案,能觀察鋰電池充放電過程中,鋰枝晶形成的過程,也能測試能源電池的導電漿料(銀/鋁膠),徹底顛覆了導電漿料製造商的研發、用料、及製程質量控制。

特點
  1. 多功能:可同時進行流體輸送、溫度控制與電流控制以滿足客戶達成複雜實驗的需求。
  2. 兼容性高:可以將任意的電池極片放置於FlowVIEW的載台內來進行實驗的測試。
  3. 操作簡單:FlowVIEW已經將最複雜的電極、線路與pin設計在我們的載台內部,客戶只需要將要觀測的樣品與液體放入載台後即可觀測,可於5分鐘之內完成。
標準規範

 

應用

鋰電池臨場觀測正負極的塗層材料
。分散/匯聚
。尺寸/尺寸分佈
。表面積

。形狀
。組成

。高分子材料分析
先進製程 (研發&試量產)
。即時觀測數種不同導電銀/鋁膠原始液態的特性 (分散性、比表面積、密度、成分、粒子尺寸與粒子形狀分布) 


量產製程
。提供導電銀/鋁膠自動化取樣量化數據(分散性、比表面積、密度、成分、粒子尺寸與粒子形狀分布)

FlowVIEWTek-Flowview-Venus

Flow AOI 流體自動光學檢測

以自主研發AI人工智慧分析軟體,有效進行產線上原料影像辨識以及汙染物預判,協助節省研發人力與時間成本、提高產線效率,使液態材料的選擇更加廣泛。
除運用在半導體先進製程,也廣泛應用於生醫藥及能源電池產業。

特點
  1. 光學客製化服務:於真空環境創造大氣環境下進行液態樣品電子束檢測,透過奈米可視化載台與微流體晶片,協助客戶進行各式各樣的液態樣品高解系度檢測。
  2. 流體系統整合:流體系統控制與整合客製化服務
  3. 感測、測量:流體相關感測元件與校正服務
  4. 軟體分析:影像辨識與分析軟體
  5. 自動化:全自動化分析與客製化服務
標準規範

 

應用

粒子分析系統 (線上/實驗室) (微米/奈米)
。分散/匯聚
。尺寸/尺寸分佈
。表面積

。形狀
。組成

。高分子材料分析
微生物分析辨識系統
。廢水處理檢測
。水庫水質檢測