FlowVIEW

邑流微測股份有限公司（FlowVIEW Tek）專注於AI粒子影像分析技術，打造整合光學、流體控制與AI影像分類的檢測系統。
旗下產品支援微米至奈米級粒子辨識，適用於半導體、生醫、材料科學等領域。
提供即時分析、客製化報表與演算法模組，協助客戶有效掌握潔淨度與污染源，並支援自動化檢測應用。

AI粒子影像分析儀 S100

 

系統提供粒子計數、粒徑、長度、圓度、影像等多項數據，並可進一步應用AI分類演算法進行深度學習，精確識別並分類各類影像，適用於製程污染監測、清潔度檢測等。支援多樣樣本來源，並提供即時分類與統計報表。

特點
  1. 即時監控 Nano 顆粒分布
  2. 顆粒形貌與形態可視化
  3. 快速、巨量、精準分析流體中顆粒
  4. 五大關鍵數據分析
  5. 升級AI辨識，分類難偵測粒子顆粒形貌與形態可視化                                                                
標準規範

 

應用

半導體製程微污染檢測、
材料：圓度、分散性、團聚
面板：氣泡、微汙染
水質：微生物、AI分類
生醫：器材潔淨度分析
食品：菌影像分析
液體/氣體樣本污染分析

規格

機型：Imager S100
量測範圍：0.1μm-10μm
量測類型：Offline / Online
量測參數：顆粒尺寸、圓度、長度、粒徑分佈（PSD）圖、顆粒影像
主機尺寸：W795 x L512 x H643 mm (±5mm)
重量：55 kg (±5kg)

                    
               
 

AI粒子影像分析儀  9000/5000/800

 

影像式流體光學檢測，結合粒徑分析（Sizer）與粒子計數（Counter）功能，搭配高階 AI 瑕疵檢測技術，精準分辨氣泡、結晶、粉塵等汙染源，眼見為憑最可靠，且大幅降低人工誤判率。
高階AI粒子影像分析系統，適用於自動分類異物與粒子，支援連續進樣與批次分析，適用於生產線自動檢測或實驗室樣品比對。

特點
  1. 一分鐘內可擷取高達100,000顆粒子
  2. 即時呈現液體的顆粒數量、濃度以及整體粒徑分布
  3. 獨家全景深光學技術(Extended Depth of Field)與微流道高速檢測模組，快速讀取粒子資訊

- 支援多分類AI訓練模型
- 軟體可擴充客製演算法模組

標準規範

 

應用

半導體製程微污染檢測、
材料：圓度、分散性、團聚
面板：氣泡、微汙染
水質：微生物、AI分類
生醫：器材潔淨度分析
食品：菌影像分析
液體/氣體樣本污染分析

規格

機型：Imager 9000 / Imager 5000 / Imager 800
量測範圍：0.8μm-400μm
量測類型：Offline / Online
量測參數：數量 / 粒徑 / 長度 / 真圓度 / 長寬比 / 粒子影像
主機尺寸：476 x 364 x 298 mm (±5mm)
重量：23 kg (±5kg)

 

多通道液體粒子檢測系統 MLPC

 

即時監控水質與處理槽狀態，直觀顯示液體中微粒子數量變化；結合多點位整合設計，提升製程效率與良率並降低設備成本，為微汙染管控解決方案。

特點

# Online 24 小時監控：長時間連續監控粒子數量，掌握各製程階段趨勢。 
# 建立穩定製程標準：作為機台保養與製程穩定依據；內建自動儲存功能，可保存一年數據。 
# 一機多點位監控：9 個檢測通道，可於同一產線多位置設點並整合既有機台，降低機台成本。 
# 缺陷預判／自動示警：門檻觸發警報、即時回傳數據，協助預判保養週期與濾心更換，降低異常成本。 
# 多元化學液應用：顯影劑、混酸去光阻液、銅/鋁酸、DI water 等。

標準規範

 

應用

# 品質節點：來料（IQC）、原料端/製程/出貨（IPQC、PQC、OQC）。 
# 化學原料/介質：IPA、脫膜劑、顯影劑、清洗劑（KOH）、去膜劑（stripper）、化鍍/電鍍藥水、去離子水、金屬蝕刻液、剝膜液、銅酸、鋁酸。 
# 晶圓製造：蝕刻、脫膜、微影、清洗。
# PCB：化鍍、電鍍、蝕刻、脫膜。
# 封裝：清洗。

 

規格

量測範圍 0.1μm-100μm 
檢測通道數 9
清洗通道數 1
粒子濃度限制 4,000 P/ml @ 5% coincidence error
通訊傳輸 Internet / RS485 / Modbus
主機尺寸 W850 x L550 x H1629 mm (±5mm)
重量 105 kg(±5 kg)
選擇配備 除氣泡裝置 / 液體回流系統 

 

 

 

以獨家奈米薄膜技術，在 SEM 真空環境中創造大氣腔體，讓液體樣品保持原始狀態、無需乾燥處理，並結合影像分析軟體快速產出粒徑分佈、團聚/分散、形狀、（配合 EDS 的）成分等數據，最高可觀測至 7 nm，簡化流程、縮短研發週期。

特點

# 保真觀測： 奈米薄膜在 SEM 真空中維持液態樣品原貌，降低不確定性。
# 整合分析： 搭配 FlowVIEW Lite，可快速分析粒徑分佈、分散/團聚、濃度、形狀、成分（配合 EDS）。
# 解析能力： 液態量測最高解析，可見 7 nm 微粒子。
# 相容性： 99% 各廠牌/型號 SEM（FEI/ThermoFisher/Keyence/JEOL/Hitachi/ZEISS/Phenom/TESCAN…）與多種製備工具相容。
# 易操作： 特殊載體設計，30 秒可完成樣品封裝。

標準規範

 

應用

# 產業面： 半導體、能源、生醫製藥。 
# 示例樣品/材料： 金屬電鍍、CMP 漿料、塗料/塗層、錫膏、銀漿、鋁、銅漿、MLCC、益生菌、費洛蒙、黑黴、真菌孢子。

 
         
         

 

 

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