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English表面輪廓儀應用：接觸式與光學優缺比較，提供最完善解決方案
辛耘知識分享家
表面輪廓儀簡介與應用
2023年4月電子報
#接觸式輪廓儀/膜厚量測儀 #光學式輪廓儀/膜厚量測儀 #KLA其他相關產品連結
表面輪廓儀是一種用於測量材料表面形狀和輪廓的儀器，它能夠提供高精度、高解析度的測量結果，並且在材料和半導體工業中具有廣泛的應用。
在材料工業中，表面輪廓儀可以用來測量材料表面的平整度、粗糙度、薄膜厚度等參數。這些參數對於材料的品質和性能具有重要的影響，因此表面輪廓儀在材料的製造、加工和檢測過程中都扮演著關鍵的角色。例如，在金屬材料的製造過程中，表面輪廓儀可以用來測量金屬表面的平整度和粗糙度，以確保產品符合設計要求。同樣地，在塗料和塗層的製造過程中，表面輪廓儀可以用來測量塗層的厚度和均勻性，以確保塗層的質量。
在半導體工業中，表面輪廓儀同樣具有重要的應用價值。半導體製造過程中，需要製造出極高精度的微細結構和元件，而表面輪廓儀可以用來測量這些微細結構的形狀和輪廓。例如，在半導體晶圓的製造過程中，表面輪廓儀可以用來測量晶圓表面的平整度和薄膜厚度，以確保晶圓的品質和性能。
此外，在微電子學和奈米科技領域，表面輪廓儀也被廣泛應用於測量奈米結構和細微元件的形狀和尺寸。表面輪廓儀的高精度、高分辨率的測量結果，可以幫助研究人員更好地理解和掌握奈米結構和元件的性質和行為，促進微細加工技術的發展和應用。
工業中的應用是不可或缺的，它可以幫助製造商確保產品的質量和性能，提高生產效率和產品的競爭力。隨著科技的進步和對產品品質的要求越來越高，表面輪廓儀也不斷發展和改進，以滿足不同產品和應用的需求。例如，一些新型表面輪廓儀採用了更先進的技術，如光學干涉儀、原子力顯微鏡等，可以提供更高的解析度和更廣泛的測量範圍。此外，一些表面輪廓儀還具有自動化功能，可以實現自動測量、數據處理和報告生成，提高測量效率和精度。
總之，表面輪廓儀在材料和半導體工業中具有廣泛的應用，對產品的品質和性能起著關鍵的作用。隨著技術的進步和市場的需求，表面輪廓儀的發展和應用將不斷推進，帶動產業的發展和進步。
接觸式表面輪廓儀和光學表面輪廓儀優缺比較
| 優點 | 缺點 | |
|---|---|---|
| 接觸式表面輪廓儀 |
● 適用於精確度要求高的測量 |
● 測量過程中會接觸到測量物體表面,容易在表面留下刮痕或印痕 |
| 光學表面輪廓儀 |
● 不需要接觸到測量物體表面,可以避免在表面留下刮痕或印痕 |
● 測量精度較接觸式表面輪廓儀低,通常可以達到幾十微米到百微米級別 |
總的來說，接觸式表面輪廓儀和光學表面輪廓儀各有優缺點，如果需要測量較大的物體或需要進行非接觸式測量，建議選擇光學表面輪廓儀。如果需要高精度的測量且物體表面複雜，建議選擇接觸式表面輪廓儀；如果需要量測物體的形狀和表面粗糙度，也可以根據具體要求進行選擇。最好的方法是在選擇儀器之前評估應用場景和測量要求，以確定哪種儀器最適合。
辛耘可提供服務之表面輪廓儀產品介紹
KLA是製程控管與良率管理解決方案的領先提供商它與全球客戶合作開發先進的檢測與度量技術。這些技術為半導體、發光二極體 (LED) 及其他相關奈米電子產業提供服務。期表面輪廓儀可以量測表面的形狀，可顯示高度、深度及寬度。
此機台是利用鑽石所製作的尖頭探針去掃描物體的表面，以得到表面輪廓的資訊。在探針掃描的運動軌跡橫過物體表面，並利用導體感測器記錄針尖的垂直運動變化，經由針尖運動產生訊號，可以顯示待測物體的二維表面輪廓。
◎表面輪廓 蝕刻深度 膜厚量測
◎應用領域：半導體、LED、LCD、太陽能光電系統、材料、薄膜
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此儀器是利用白光干涉的光學原理來掃描物體的表面，以得到表面輪廓的資訊。
◎台階高度：從納米到毫米的 3D 台階高度
◎紋理和形狀：3D 粗糙度、波紋度、弓形和形狀
◎邊緣滾降：3D邊緣輪廓測量
◎缺陷審查：3D 缺陷表面形貌、缺陷表徵
◎對大型透明膠片表面進行高分辨率掃描
◎高粗糙度、低反射率、划痕表徵
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● D-500/D-600 接觸式輪廓儀/膜厚量測儀
● P-7 / P-17 / P-17 OF 接觸式輪廓儀/膜厚量測儀
● MicroXam-800 光學式輪廓儀/膜厚量測儀
● P-170 全自動接觸式輪廓儀/膜厚量測儀
● HRP-260 全自動高解析度輪廓儀/膜厚量測儀
● 光學式表面缺陷(Defect) 檢測儀/CS10(手動機台)/CS20(自動機台)(Candela Optical Surface Defect Analyzers)
● 光學式表面缺陷(Defect) 檢測儀/CS900(手動機台)/CS920(自動機台)(Candela Optical Surface Defect Analyzers)
● Profilm3D 光學輪廓儀
● F20薄膜厚度测量系统