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EnglishTMC
TMC 為納米技術設計和製造先進的建築地板隔振系統。 TMC 隔離器支持超精密測量、儀器和製造。採用壓電致動器和數字控制器的精密主動慣性振動防振系統引領行業。產品範圍從簡單的台式隔離顯微鏡底座到幾乎任何尺寸的光學平台系統，可用於光子學、半導體製造、生命科學、藥物發現和納米技術領域實現超精密研究、測量和製造。
STACIS III 壓電主動式防振系統
STACIS® III 是一種靈活的高級主動隔振系統。 STACIS 採用先進的慣性振動傳感器、複雜的控制算法和最先進的壓電致動器，通過連續測量地板活動，然後膨脹和收縮壓電致動器產生振動以隔除地板振動。
STACIS 最初設計用於隔離先進半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備，現在是噪聲環境中最敏感儀器的行業標準解決方案，包括半導體工廠、故障分析實驗室、納米技術研究、納米製造設施和材料研究並在全球成功安裝了數百次，是適用於對振動最敏感的儀器。
特點
STACIS 的硬度是氣壓式隔振器的數百倍，不受空氣隔振系統的任何限制。沒有“軟”懸架，而且與主動氣壓式系統不同，STACIS 可以放置在帶有內部主動氣壓式隔離系統的工具下方，兩個系統都經過全面優化。
獨特的串行設計和專有的高壓壓電技術
導致從 0.6 Hz 到 150 Hz 的寬活動帶寬和無與倫比的真正主動隔振，從 2 Hz 開始減振 90%。
標準規範
應用
半導體、故障分析實驗室、納米技術研究、納米製造設施和材料研究。
規格
SEM-Base VI 微型電子主動式防振系統
SEM-Base® VI 是下一代 STACIS 主動壓電振動消除技術， 用於所有商業掃描電子顯微鏡 (SEM)，以及許多聚焦離子束 (FIB) 和小型雙光束儀器。 SEM-Base VI 提供改進的隔振性能、更快更穩健的控制器和高級圖形用戶界面 (GUI)。 SEM-Base VI 將使更多的實驗室和設施能夠達到滿足工具製造商規範所需的地板振動水平。
SEM-Base VI 使用獨特的“串行架構”，其中振動傳感器測量地板振動，而不是有效載荷振動。這確保了與其他設計不同，有效載荷共振不會固有地限制振動隔離或導致不穩定。振動傳感器是低頻慣性速度傳感器，可在難以測量的亞赫茲範圍內實現最大靈敏度。結合我們獨特的壓電致動器技術，SEM-Base VI 實現了極高水平的振動消除，即使在已經安靜的地板上也是如此。
特點
硬式隔振技術– SEM-Base VI 與所有內部 SEM 振動控制系統兼容，並積極減輕從 0.6 Hz 開始的低頻地板振動。
主動慣性振動消除 – SEM-Base VI 使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器來實現高水平的振動衰減，即使在安靜的地板上也是如此。
採用壓電技術的串行設計——獨特的串行設計和專有的高壓壓電技術產生了從 0.6 Hz 到 150 Hz 的寬活動帶寬和無與倫比的慣性主動振動消除，從 2 Hz 開始減少 90%。
標準規範
應用
半導體、故障分析實驗室、納米技術研究、納米製造設施和材料研究。
規格
CleanBench 光學平台防振桌
CleanBench™ 是我們的下一代行業標準 63 系列實驗台。 TMC 的隔振實驗台在性能方面處於行業領先地位，是各種應用的理想選擇，包括 AFM、共聚焦顯微鏡、IVF、膜片鉗、干涉測量和計量學。 CleanBench 結合了 TMC 獨特的萬向活塞振動隔離器和具有增強性能和功能的桌面。
特點
獨特的新型桌面設計（正在申請專利）結合了 TMC 的 CleanTop 鋼蜂窩檯面的最佳特性與我們的超硬、阻尼、分層平台設計。
穩定性更高，尤其適用於小尺寸桌子。高密度的頂部降低了整體浮動質心，確保了固有的穩定性，即使對於相對較重的有效載荷也是如此。
標準規範
應用
半導體、故障分析實驗室、納米技術研究、納米製造設施和材料研究。
規格