Auros

Auros Technology是世界領先最先進技術供應商，並提供半導體行業的量測解決方案。 Auros Technology的總部和製造工廠位於韓國，多個銷售和服務中心在亞洲國家提供客戶支持。自2009年成立以來，Auros Technology在全球研發合作夥伴和客戶的合作中，擁有超過80名員工和20個不同地點的客戶，擁有約50名研發工程師。

MERCURY 光罩/光罩薄膜檢測系統

特點
  • 全檢查區域（掩模圖案和背面，薄膜和框架）
  • 可選擇的檢查模式（全部/部分/分離/ DNIR）
  • 支持客戶端軟件（離線審查）
標準規範

 

應用
  • 光罩出貨/進貨/製程中檢查
  • Pellicle Remount檢查
規格
Content changed at :2019-07-19 09:06:29