Auros

Auros Technology是世界領先最先進技術供應商,並提供半導體行業的量測解決方案。 Auros Technology的總部和製造工廠位於韓國,多個銷售和服務中心在亞洲國家提供客戶支持。自2009年成立以來,Auros Technology在全球研發合作夥伴和客戶的合作中,擁有超過80名員工和20個不同地點的客戶,擁有約50名研發工程師。

MERCURY 光罩/光罩薄膜檢測系統

特點
  • 全檢查區域(掩模圖案和背面,薄膜和框架)
  • 可選擇的檢查模式(全部/部分/分離/ DNIR)
  • 支持客戶端軟件(離線審查)
標準規範

 

應用
  • 光罩出貨/進貨/製程中檢查
  • Pellicle Remount檢查
規格