單晶圓濕製程機台

辛耘企業研發生產全自動單晶圓濕製程設備以因應客戶面對瞬息萬變的技術需求。此設備提供具成本效益解決方案廣泛應用於業界不同的製程需求。目前辛耘擁有 5,000㎡ 生產製造廠房,還擁有Class 10 等級無塵室服務客戶製程驗證。此產品可提供6“晶圓設備及8”/12”吋晶圓共用設備。

應用
  • Single Wafer Process Tool for Back-end Semiconductor Etching / Wafer Clean / PR Strip / De-flux / Metal Lift-off
  • Single Wafer Process Tool for GaAs Etching / Wafer Clean / PR Strip / Metal Lift-off
  • Single Wafer Process Tool for MEMS Etching / Wafer Clean / PR Strip / De-flux / Metal Lift-off