SMEE

高解析度曝光機(Stepper、Scanner)、自動光學檢查機(Auto Optical Inspection)、無人搬運車(AGV:Automatic Guided Vehicle)、雷射退火設備(Laser Annealing Tool),鍵合及解鍵合設備(Bonder/Debonder)應用在半導體前段、半導體先進封裝、微機電 、化合物半導體(GaAs, GaN, InP, SiC,…)、LED以及面板產業。