批次式及單晶圓濕製程設備

批次式及單晶圓濕製程設備,應用於:

  • 半導體先進封裝製程。
  • 半導體前段製程。
  • 化合物半導體。
  • 微機電(MEMS)。
  • 應用於高亮度LED先進製程之之全自動濕製程設備。