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  封裝測試 - Kingsemi - Automatic Spray Coater 自動噴膠機



Automatic Spray Coater 自動噴膠機
icon Wafer: 8 /12 inch
icon Spray Coater Unit: 2
icon HP/CP: 6~8
icon Throughput: 20~30W/H
icon PR : 1um~20um
icon Uniformity: 5um~10Um +/-5~20%
  • Spray coater speed: 1~100 RPM
  • Spin coater speed :1~5000 RPM
  • (額定5000 /Max:6000)
icon PR : Max.20,000 cp (Spin) 100 cp ( Spray)
icon Size : H1900×W2800×D2050
icon Robot: 1 / Foup : 2
icon Option: Nozzle + Spray system(可加到兩路)/ automated clean
 
 
 
 
 
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