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  封裝測試 - Kingsemi - Automatic Coater 高精度塗膠機



Automatic Coater 高精度塗膠機
icon Cluster Tools Track
icon Coater / Developer / Bake
icon Wafer : 8〞 ∼12〞
icon CD: 0.25μm
icon Uniformity: ≤1.5%
icon Cool / Hot /AD plate : 12
icon Cool plate: 18~35℃
icon Hot Plate :50~180 degree℃ (option: Max320 ℃)
icon PR : 5~10,000Cp
icon Spin speed : 5000rpm~ 8000 rpm
icon Acceleration Speed : Max 50,000rpm/s
icon Size :H2060XW2260XD1510mm
icon OS: Windows NT
 
 
 
 
 
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