辛耘企業  
  English
   
 

 
 
   
產品
   
化學生技
特殊光學
半導體/III-V族
LCD/ LED/ SOLAR/ DATA STORAGE
arrow2 AE
arrow2 ATEN
arrow2 Dawonsys
arrow2 FRT
arrow2 hfsemi
arrow2 IMT
arrow2 Kensington
arrow2 Kingsemi
arrow2 KLA
arrow2 MDC
arrow2 Micro Image
arrow2 Nanonex
arrow2 Neutronix Quintel
arrow2 OAI
arrow2 Plasma-Therm
arrow2 Rehm Thermal
arrow2 SiGlaz
arrow2 SMEE
arrow2 SVC
arrow2 Takano
arrow2 Tera
arrow2 TMC
arrow2 TOHO
arrow2 Verity
arrow2 VLSI
arrow2 WI-A
arrow2 YES
微機電
PCB產業
封裝測試
二手機台
自有產品>
3D列印a>
半導體III-V 族 - 上海微電子 - SSB245/10投影光刻機



SSB245/10投影光刻機
SSB245/10投影光刻機專用於顯示幕TFT電路製造,可使用的基板尺寸為730mm × 920mm,可滿足OLED生產線G4.5代工藝要求及各種使用需求。
特點:
icon 1.基於投影光刻機平臺化和模組化設計,具有良好的穩定性和可維護性
2.卓越的設備性能,高解析度,高套刻精度
3.支援730mm × 920mm玻璃基板,適用於G4.5代線
4.採用UNIX作業系統,具有良好的系統穩定性的同時,具備友好的人機交互介面
5.支援符合SEMI標準的生產線自動化介面及設備之間的工藝資料同步
標準規範:
應用:
icon TFT-LCD & OLED 等Array lithography process
規格:
icon 1.解析度(Resolution) <2.0um
2.曝光光源(Exposure Light Source) i-line mercury lamp
3.基板尺寸(Substrate Dimension) 730mm × 920mm
 
 
 
 
 
Copyright © 2010 Scientech All rights reserved. Site map