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電源系統:直流電源
電源系統:低頻/中頻電源
電源系統:RF POWER SYSTEMS
SEKIDENKO溫度量測儀器
集中式逆變器
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icon KVM多電腦切換器
Remote Control Management (1-Port)
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Gun Type 等離子體射流裝置
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icon MPR 200 TTV
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icon iClean300 Laser clean/ 晶圓晶背雷射清潔
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icon C5100 Co2 Jet cleaning 晶圓清洗機
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icon Robot, Load Port, Stage, Pre-Aligner, Handler機械手臂及載台
 
   
 
icon KS-S300-C/D: 300mm Spin Coater/Developer
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噴霧式光阻塗佈機
     
   
 
icon D-500/D-600 接觸式表面/膜厚量測儀
icon P7 / P17 / P17OF 接觸式表面/膜厚量測儀
icon MicroXam-100 / MicroXam-800 光學式表面/膜厚量測儀
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icon Candela Optical Surface Defect Analyzers光學式表面缺陷(Defect) 檢測儀
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Photo Mask/ Reticle 光罩/ 倍縮式光罩
     
   
 
icon Nano Imprintor 奈米壓印機
 
   
 
icon NXQ4000 Series
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太陽光模擬器& I-V 測量器
太陽能照度計
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icon 反應式離子蝕刻 RIE / 感應耦合電漿離子蝕刻機ICP / 深反應式離子蝕刻機 DSE (手動/半自動/全自動)
icon 電漿輔助化學氣相沉積 PECVD / 高密度電漿化學氣相沉積 (HDPCVD)
icon 光罩蝕刻機 (Mask Etcher)
icon Singulator® MDS-100, MDS-300
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icon 快速燒結爐
icon VOC焚燒爐
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Advance Defect Analysis and Management System 缺陷分析管理軟體
 
   
 
icon SSB245/10投影光刻機
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icon 真空類產品，陶瓷密封件
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icon Plain Film Inspection System (Laser): Hawk Eyes (Laser)
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icon Patterned Film Inspection System: Hawk Eyes (Pattern)
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icon 退火設備
icon 擴散 & 低壓化學氣相沉積爐管
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icon STACIS III 壓電主動式防振系統
icon SEM-Base VI 微型電子主動式防振系統
icon Mag-NetX 主動式電磁場消除系統
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接觸式膜厚量測儀
Film Thickness Measurement System (License: Nanometrics)
光學式膜厚量測儀
FPD 3D METROLOGY SYSTEM(License: (ZYGO)
白光干涉儀
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icon EPD偵測儀器及其光學配件
   
 
   
 
icon VLSI standard 校正標準片
icon VLSI 太陽能電池認證服務
 
   
 
icon 捲對捲雷射直接圖形化機台
icon 雷射圖形退火機台
 
   
 
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