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  半導體III-V 族 - TOHO


儀器詳細介紹
 
Flat Panel Surface Profiler(License: KLA-Tencor)
接觸式膜厚量測儀
Film Thickness Measurement System (License: Nanometrics)
光學式膜厚量測儀
FPD 3D METROLOGY SYSTEM(License: (ZYGO)
白光干涉儀
Stress Measurement system(License: KLA-Tencor)
應力量測儀
Mask Spin Cleaner 光罩清洗機
Cassette Cleaner 卡夾清洗機
Substrate Cleaner 基板清洗機
Developer 顯影機
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Stripper 剝離機
 
 
 
 
 
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