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  LCD - Advanced Energy - SEKIDENKO溫度量測儀器



透過設計進階溫度測量系統,我們的 Sekidenko 光纖溫度計為客戶增添價值使得我們的熱量管理解決方案躋身於世界最佳的行列,無論您是需要自訂解決方案的 OEM 還是需要應用專業技術的最終使用者都是如此。
Advanced Energy 的 Sekidenko 系列光纖溫度計為電漿薄膜製造中的進階溫度控制提供經過證實的溫度測量技術。借助我們的原位探針,您可獲得晶片或腔體元件溫度即時測量結果,實現製程控制的最佳化。我們開創性的光纖溫度測量技術促進了優秀之溫度控制儀器的開發,這種儀器精確、可重複並且易於使用。憑藉各種應用領域中多年的經驗,交付了 RTP、CVD、PVD 和條帶系統中數千套 OFT 系統,我們已成為先進非接觸式溫度測量領域中公認的領導者。
icon Sekidenko OR4000T & OR4000E 光纖溫度計&發射率計
Advanced Energy 的 OR4000T 和 OR4000E 多頻道光纖溫度計 (OFT) 為 RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV 固化以及其它半導體製程提供了業界領先的非接觸性溫度測量性能。OR4000T 型號向要求最苛刻的半導體應用支援高達 2kHz 的讀取率提供了多頻道的功能。OR4000E 型號提供了與 OR4000T 一樣的高速性能,還增添了即時發射率補償功能。兩個型號均設計為模組,能夠快速調整以滿足各個製程應用的特殊要求。
icon Sekidenko OR400M Optical Pyrometers
Advanced Energy’s OR400M Optical Pyrometer extends the flexibility of the Sekidenko product family into the mid-IR wavelength range, from 2.3 µm – 5.2 µm. The OR400M offers a single-channel temperature measurement capability for thin-film solar, glass, and advanced semiconductor processes. The OR400M supports RS-232 and analog data interfaces. Because of its compact design, the OR400M can be easily integrated to meet the unique requirements of many process applications.
icon Sekidenko OR400T 光纖溫度計
Advanced Energy 的 OR400T 光纖溫度計 (OFT) 拓展了 OFT 產品系列的靈活性,向多種高用量的半導體應用提供了具有成本競爭力非接觸性的解決方案,其中包括電漿輔助化學氣相沈積(PECVD)、低壓化學氣相沉積(LPCVD)、物理氣相沉積(PVD) 和金屬刻蝕。由於 OR400T 具有緊湊型設計,因此能夠輕鬆整合以滿足多種製程應用的特殊要求。
 
 
 
 
 
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