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  LCD - Advanced Energy - SEKIDENKO溫度量測儀器



透過設計進階溫度測量系統,我們的 Sekidenko 光纖溫度計為客戶增添價值使得我們的熱量管理解決方案躋身於世界最佳的行列,無論您是需要自訂解決方案的 OEM 還是需要應用專業技術的最終使用者都是如此。
Advanced Energy 的 Sekidenko 系列光纖溫度計為電漿薄膜製造中的進階溫度控制提供經過證實的溫度測量技術。借助我們的原位探針,您可獲得晶片或腔體元件溫度即時測量結果,實現製程控制的最佳化。我們開創性的光纖溫度測量技術促進了優秀之溫度控制儀器的開發,這種儀器精確、可重複並且易於使用。憑藉各種應用領域中多年的經驗,交付了 RTP、CVD、PVD 和條帶系統中數千套 OFT 系統,我們已成為先進非接觸式溫度測量領域中公認的領導者。

Sekidenko OR400T
單道光纖溫度計(OFT)
特點:
icon AdvancedEnergy®的OR400T光纖溫度計(OFT)   通過具有成本競爭力的非接觸式解決方案,為多種大批量半導體應用(包括PECVD,LPCVD,PVD和金屬蝕刻)擴展了OFT產品系列的靈活性。 OR400T型號提供單通道溫度測量功能,支持RS-232和模擬數據接口,每秒最多20個讀數。 由於其緊湊的設計,OR400T OFT可以輕鬆集成,以滿足許多過程應用的獨特要求。
標準規範:
icon
應用:
icon Epi
PECVD
LPCVD
PVD
MOCVD
規格:
icon 描述:經濟高效,精確的溫度測量
通道配置:單通道溫度測量功能,可選擇/固定發射率
溫度範圍:50至3500°C
過濾範圍:600至1600 nm
讀取速率:最高20 Hz的溫度讀取速率
精度:±1.5°C
分辨率:0.001°C
控制/重複性:典型值±0.1°C
顯示:無; 通過RS-232設置
數據I / O:RS-232 @最高115 KB
模擬輸出:0至10 V或4至20 mA輸出
電源要求:AC:90至263 VAC; 47至63赫茲
DC:+24 VDC
環境操作:10至40°C(50至104°F)
物理尺寸:55.7 mm(高)x 31.8 mm(寬)x 195.2 mm(深); 2.2“(H)x 1.3”(W)x 7.7“(D)
重量:0.73磅(0.33千克)
電源線電流:<0.7 A @ 100 VAC
Sekidenko OR400M
精密光學高溫計
特點:
icon AdvancedEnergy®的OR400M光學高溫計將Sekidenko產品系列的靈活性擴展到3.3和5.2μm的中紅外波長。 OR400M單元提供單通道溫度測量,支持RS-232和模擬數據接口,並且由於其緊湊的設計,可以輕鬆集成,以滿足許多過程應用的獨特要求。
標準規範:
icon
應用:
icon 光伏(PV)太陽能應用
PV電池層測量
TCO(透明導電氧化物)層
CIGS(銅銦鎵硒)沉積層
CdTe(碲化鎘)沉積層
規格:
icon 通道配置:單通道溫度測量功能,可選擇/固定發射率
溫度範圍:50至1300°C
測量波長:3.3和5.2μm
讀取速率:高達250 Hz
精度:±3°C
分辨率:高達0.01°C
重複性:典型值±0.1°C
顯示:無; 通過RS-232設置
數據輸入 / 輸出:RS-232最高115 kB
模擬輸出:0至10 V或4至20 mA
電源要求:AC:90至263 VAC,47至63 Hz
DC:+24 VDC
環境操作:15至40°C(59至104°F華氏度)
物理尺寸32毫米(高)x 57毫米(寬)x 235毫米(深)
1.26“(H)x 2.30”(W)x 9.26“(D)
重量:0.39千克(0.87磅)
電源線電流:100 VAC時<0.7 A.
Sekidenko OR4000T & OR4000E
光纖溫度計
特點:
icon Advanced Energy的OR4000多通道光纖溫度計(OFT)以非常成功的OR2000產品系列為基礎,在非接觸溫度下提供領先行業性能許多溫度測量應用的測量。 OR4000T型號提供多通道功能,支持高達2 kHz的讀取速率,適用於最苛刻的溫度測量。 配置為OR4000E型號,它提供增加了實時發射率補償的好處。 該儀器採用模塊化設計,可輕鬆定制,以滿足每個過程應用的獨特要求。
標準規範:
icon
應用:
icon OR4000T:RTP,激光退火,HDP-CVD,MOCVD,ALD,UV固化,太陽能電池封裝和HDD處理。
OR4000E:Epi,CVD,MOCVD和其他具有不斷變化的基板發射率的工藝。
規格:
icon OR4000T:
描述:多通道功能,高速性能和高達2 kHz的讀取速率
通道配置:利用可選/固定發射率的1到4個溫度測量通道; 通道可單獨配置
OR4000E:
描述:即時雙通道發射率補償測量和高達2 kHz的讀取速率
通道配置:即時的,通過脈衝發射器實現1至2通道,發射率校正溫度; 通道可單獨配置
OR4000T & OR4000E:
溫度範圍:50至3500°C
過濾範圍:UV至2300 nm
讀取速率:最高2 kHz的溫度讀取速率;高達500 Hz的實時讀取速率,發射率校正溫度 (OR4000E)
精度:±1.5°C
分辨率:高達0.001°C
控制/重複性:典型值±0.1°C
顯示屏:內置4 x 20 LCD,帶鍵盤輸入
數據輸入/輸出:RS-232,RS-422/485和以太網
模擬輸出:0至10 V或4至20 mA輸出
控制接口:外部觸發輸入,同步輸出,高低報警
電源要求:AC:90至263 VAC; 47至63赫茲
DC:+24 VDC
電源線電流:100 VAC時<0.7 A.
環境操作:5至40°C(41至104°F)
物理尺寸:8.6厘米(高)x 15.2厘米(寬)x 21.8厘米(深)3.4“(H)x 6.0”(W)x 8.6“(D)
重量:4.5磅(2千克)
響應樣本:2 kHz採樣率<2 ms(僅限溫度)
Sekidenko MXE
高速高溫計
特點:
icon Sekidenko MXE高溫計結合了速度和精度,能夠對要求苛刻的應用進行精確,非接觸,可重複的測量和控制。 其高速(高達10 kHz)性能非常適用於具有移動目標的過程,例如旋轉感受器。 它也非常適合動態過程,包括基於激光的處理或快速退火。 為了便於集成和靈活的控制選項,MXE單元非常緊湊,支持各種I / O協議。
標準規範:
icon
應用:
icon MXE高溫計可配置以適應各種應用。 諸如測量波長,有源反射,光學接口和I / O協議等功能可針對特定應用進行優化。 可以測量高達10 kHz的頻率。 此外,還可以支持各種光斑尺寸和工作距離。 對於需要遠程放置電子器件的應用,也可以支持使用光纖耦合收集光學器件。
規格:
icon 配置:僅限溫度; 溫度+反射率; 僅限反射率
溫度:範圍取決於應用
讀取速率:最高10 kHz
精度:±1.5°C,典型值
重複性:典型值±0.1°C
分辨率:0.001°C
反射精度:±1%
反射重複性:±0.5%
工作距離範圍:100至450毫米
光斑尺寸:2至8毫米
電源要求:AC:90至263 VAC,47至63 Hz
DC:+24 VDC
環境操作:18至40°C(64至104°F)
物理尺寸229毫米(深)x 127毫米(寬)x 46毫米(高)9.0“(D)x 5.0”(W)x 1.8“(H)
重量:<1.54千克(3.4磅)
USB 2.0:10 kHz數據的傳輸速率高達2 kHz
RS-232:可選波特率高達460,800; 7E1或8N1
模擬輸出:0至10 V或4至20 mA輸出
控制I / O:同步輸出,報警輸出,源互鎖
 
 
 
 
 
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