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  LCD - Advanced Energy - 電源系統:RF POWER SYSTEMS



icon Paramount® 射頻功率輸送系統
這款半機架、3kW 的 Paramount® 射頻 (RF) 功率輸送系統擁有一個更強的功率和阻抗測量系統,能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率、50歐姆和非50歐姆負載下(電壓駐波比 (VSWR) 超過3:1),為您帶來傑出的輸送功率精度和控制性能。能夠與最突然變化的電漿阻抗保持即時同步,Paramount 射頻功率輸送系統能為新一代技術節點帶來更快的轉換速度、更少的製程步驟以及更短的製程時間。其阻抗測量精度可媲美網路分析儀,而可選頻率的調諧幾乎可以瞬間實現(達到毫秒數量級),速度較市場上的任何其他產品都快。從而實現真正卓越的精確性、可重複性和製程的控制。
icon Apex® RF電源系統
通用 Apex® 系列射頻電源和供電系統採用複雜的射頻轉換技術,在適合於反應室安裝的模組化設計中提供增大的產品和製程可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或資料存儲製造以電漿為基礎的薄膜製程中表現優異。
icon HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源
靈活的 HFV® 電源主要用於200和300 mm 晶圓製程、平面顯示器和 DVD 設備的電漿產生器,為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了製程一致性。這種通用電源的特點有數位合成變頻輸出和微處理器控制,輸出功率為5和8 kW。此外,其輸出頻率範圍為1.765-2.165 MHz。韌體上的頻率調諧參數可進行訂製,以確保在各種反應室結構和製程方法下的可重複運行。
icon CESAR® RF產生器
強大而多功能的 Cesar® 平臺可提供非常穩定的射頻功率輸送性能,以及一個多樣化的模式選擇,每種模式都具有一套獨特的功能(2、4、13.56、27.12和40.68 MHz;0.3至5 kW;擁有多種使用者介面和輸入選擇),從而使您能夠選擇一套特別適合您應用的元件——而無需客制發生器所需的漫長交付期。
高品質的元件和較少的零件數量使可靠性和產品生命週期均實現最優化,從而使您的投資和制程生產力得到最大化的利用。一個全面而高度靈敏的操作功能表(可在該元件的多功能前面板上找到,並顯示在一個大的液晶顯示幕上)帶來了無與倫比的便利性——提高了操作人員的效率,並使培訓成本最小化。
icon HILIGHT™ 微波產生器(13.56MHz,600W)
針對低功率、輕便應用,HiLight 系列微波產生器小巧、輕便,擁有氣冷式設計,是專門為顧客設計可在現場安裝的而非傳統19英寸機架型。HiLight 產生器可用於 13.56MHz 電漿應用以及 1MHz 或 2MHz 超高頻應用,它是通過25針腳類比用戶埠進行控制的,並符合CE標準。
icon Integro™ 微波產生器
經濟型 Integro™ 微波產生器在很小的體積內結合了一個 13.56MHz、600W 的微波電源和一個自動匹配網路。這節省了寶貴的空間並使得整合變得更容易。它支援的功能包括:脈衝模式、CEX 操作以及多種保護功能。
icon Ovation VHF電源系統
Ovation 全整合供電系統通過採用一種獨特的供電方案,能夠實現更快、更精確的製程過程,如要求嚴格的窄線寬、介電質蝕刻製程。該系統首次在無需外部感測器的情況下,為非 50-ohm 環境供電,反應比傳統電源更快。60-MHz 的設計減小了整個電漿鞘層的電壓勢能,最大限度地減小了離子蝕刻損傷,從而提高了薄膜品質和良品率。
icon Navigator® 數位式阻抗匹配器
多功能 Navigator® 匹配網路的先進技術能在多種負載阻抗下(從15W 至 30kW,頻率至60MHz)進行快速、準確而可靠的匹配。該匹配網路配備了微處理器控制步進馬達電路和用戶可選的數位調諧演算法,使它能提供比傳統類比調諧法更佳的一致性和精確性。這也使得它可以優化半導體、太陽能、FPD 以及 MEMs 製造流程(包括蝕刻、CVD、HDP-CVD、PVD 和腔體清洗應用)的輸送過程功率。一個可選的內部 Z’Scan® 射頻感測器可提供對過程功率和阻抗的即時測量和分析,從而使您能够發現並大大地降低製程變化性。此外,可選的虛擬前面板 (VFP) 軟體使您能够通過一台個人電腦來監視並控制匹配網路。
icon Navio™ Digital Matching Network - IMPEDANCE MATCHING NETWORKS
Advanced Energy (AE) has extended its digital matching network platform to include simplicity yet high reliability in one of the most affordable matching networks on the market today. Available in multiple power ranges and frequencies, the Navio™ matching network leverages our proven power expertise to precisely match the complex impedance of a plasma to your desired tuning range—quickly, accurately, and repeatably. Choose from a standard offering or a configurable design to meet your specific requirements. Installation is virtually plug-and-play with AE’s RF power supplies, and monitoring and control is available with Virtual Front Panel (VFP) software.
icon GenCal™ RF量測系統
GenCal™ 系統提供在電漿製程行業常用的離散頻率下業界領先的測量準確性,以及與 AE 獲得研發大獎的電漿阻抗感測器所使用的相同的尖端混合動力感測器技術。這項經過優化的技術在有高諧波含量和雜訊電漿產生信號的情況下,能夠以目前其他功率測量儀器所無法實現的準確率進行測量。
icon RF CABLES & ACCESSORIES
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