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  LCD - Advanced Energy - 電源系統:低頻/中頻電源



icon PDX® 中頻電源
PDX® 系列小功率(1250和1400 W)及大功率(5000和8000 W)中頻電源為各種廣泛的製程應用提供一種高效、緊密、易於整合的電源。這些高度可靠的電源提高了製程靈活性,提供廣泛的運行頻率範圍以優化製程式控制制,確保較高的製程重複性,並提高了生產量。
icon PEII 低頻系列
PEII 低頻系列提供40 kHz 脈衝寬度調製電源,具有增強的電弧控制以及與高達60 kW 的輸出相匹配的內部負荷,無變壓器等外部組合硬體。
icon LFGS 微波產生器
LFGS 產生器是用於半導體生產和一般電漿處理的多功能微波電源,這種變頻電源採用了一種半橋、D 類型放大器理念,擁有一種氣冷式精簡型的設計,可安裝在19英吋機架上。典型的應用包括濺射、反應式離子蝕刻、電漿沉積、聚合以及表面處理。
icon Crystal®
Advanced Energy (AE) 的 Crystal® 電源非常適用於大面積玻璃鍍膜應用,如建築、汽車、抗反射和鏡子,良率高,缺陷少。這些電源的可用功率為 180kW,為雙磁控濺射應用提供了寬波段、低頻率的正弦製程電源。AE 的 Crystal 電源是唯一特別為電漿環境而設計拓撲結構的交流電大功率電源 。
 
 
 
 
 
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