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  半導體III-V 族 - TMC - STACIS IX SEM-Base 微型電子主動式防振系統



STACIS IX SEM-Base 微型電子主動式防振系統
icon 微型主動式制振系統
icon 針對10Hz之低頻有良好抑制效果
icon 輕量簡便,適合小型設備
特點:
icon 微型主動式制振系統
icon 專為SEM或小型設備所設計
icon 施工簡便,所占空間較小
標準規範:
icon ISO: 9001: 2008
應用:
icon 微型電子主動式防振系統由於體積較小,所占空間亦少,為主要專門設計給SEM或其它小型設備所使用的微型化主動制振系統。
規格:
icon •軸向: 6 軸
•有效頻寬: 開始低於1Hz之振動
•有效荷重: 900 ~ 2500Ib(408 ~ 1,134kg)
•尺寸: 35.5 x 44.5 x 6.5 inches
 
 
 
 
 
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