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  半導體III-V 族 - TMC - STACIS 2100 壓電主動式防振系統



STACIS 2100 壓電主動式防振系統
icon 壓電主動式制振系統
icon 針對10Hz以前低頻振動處理效果佳
icon 維護簡便,設計耐久
特點:
icon 制振頻寬廣泛: 有效處理低頻(0.6Hz)~高 頻(150Hz)振動
icon 抑制低頻振動: 針對10Hz之前的振動有顯著處理效果
icon 制振反應迅速: 0.3 sec的反應速度
icon 高荷重: 根據需求,一支防振腳最高荷重可達 2 頓
icon 客製需求: 針對不同設備與不同環境,設計合適的桌板與適量的腳座
icon 施工安裝迅速: 無論是無塵室與一般實驗室,能根據現場需求變更安裝方式,現場安裝,水平校正,含安裝完成後的 振動量測僅須 3 工作天
icon 維護簡易: 設計耐久,安裝後不需經常重新調整與維護
標準規範:
icon ISO: 9001: 2008
應用:
icon 易受微振動影響之設備: 原子力顯微鏡 (AFM)、掃瞄式顯微鏡 (STM)、近場掃描光學顯微鏡 (NSOM)、掃描電子顯微鏡 (SEM)、磁力顯微術、集中離子束 (FIB)、傳送電子顯微鏡 (TEM) 以及其他利用打印、刻印、電子束等印刷工具。
規格:
icon •軸向: 6 軸
•有效頻寬: 0.6Hz ~ 150Hz
•有效荷重: 400 ~ 4500Ib(182 ~ 2,045kg)
•1 ~ 2Hz之隔振: 降低50~80%
•2Hz以上之隔振: 降低90%以上
•反應時間: 300 ms
•系統腳位數量需求: 3 or more
 
 
 
 
 
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