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  半導體III-V 族 - TERA - 退火設備



退火設備
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Tera公司提供的設備是在高品質 LCD 和 AMOLED display 行業中新凸顯的 LTPS (Low Temperature Poly Silicon)工藝用 Non-laser 結晶化設備與LTPS熱處理工藝中所必要的所有 thermal processing 設備.
尤其是, 大面積 amorphous silicon 的 glass 上以 Sub-atomic layer 水準把介質均勻蒸鍍後進行結晶化熱處理工藝, amorphous silicon 結晶化為 polysilicon 的設備是全球最初以 Non-Laser 方式在量產線上成功的設備. 另外, 對 De-Hydrogation 和 Hydrogation 等多樣化的熱處理工藝,我司提供以最好的工藝條件並應用在量產用的熱處理系統。
特點:
標準規範:
應用:
規格:
 
 
 
 
 
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