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  半導體III-V 族 - Park Systems - Park NX10 原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM)



Park NX10 原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM)

創新研究的經濟選擇Park NX10 原子力顯微鏡擁有您期望從Park Systems獲得的所有最先進技術,原子力顯微鏡價格實惠。 Park NX10的設計與我們更先進的型號一樣注重細節,利用原子力學,使您可以在預算範圍內按時完成研究
特點:
icon 1. 更好的精度,更準的數據
2. 更好的精度,更高的效率
3. 更好的進度,更加的研究
標準規範:
icon 1. 公司通過認證 ISO 9001
2. 產品符合SEMI S2 規範
應用:
icon 1. Semiconductor
2. Compound/SiC
規格:
icon AFM 掃描頭:15um (可選擇30um)
分辨率:0.015nm
位置探測器噪音:0.03nm(帶寬1kHz)
共振頻率:>9kHz(通常10.5kHz) AFM測頭
SICM測頭
壓電疊堆的繞性結構
Z掃瞄範圍:25um
位置探測噪音:0.03nm(帶寬1kHz)
XY掃描器:
閉環控制的柔性引導XY掃描器
掃描範圍:50umx50um(可選10umx10um or100umx100um)
分辨率:0.05nm
位置探測器噪音:0.25nm(帶寬1kHz)
離面運動:<2nm(掃描超過40um)
 
 
 
 
 
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