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  半導體III-V 族 - KLA-Tencor 美商科磊 - D-500/D-600 接觸式表面/膜厚量測儀



D-500/D-600 接觸式表面/膜厚量測儀
量測表面的形狀,可顯示高度、深度及寬度。
特點:
icon 此機台是利用鑽石所製作的尖頭探針去掃描物體的表面,以得到表面輪廓的資訊。在探針掃描的運動軌跡橫過物體表面,並利用一導體感測器記錄了針尖的垂直運動變化,經由針尖運動產生訊號,可以顯示待測物體的二維表面輪廓。
標準規範:
icon SEMI S2, S8, and S14
European CE
WEEE and RoHS – 2002/95/EC
應用:
icon 表面輪廓 蝕刻深度 膜厚量測儀
Semiconductor, LED, LCD, Photovoltaic, Material, LCD, Thin Film
規格:
icon 1200 µm vertical range standard
5 Å step height repeatability on 1 µm standard
5 MP color camera with 4x digital zoom
Simplified recipe setup (D-600 Only): 3D recipe, sequence recipe with single site deskew, and automated stitching

 
 
 
 
 
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