辛耘企業 IMT Co.,Ltd - C3100 Co2 Jet cleaning 晶圓框架 / 法蘭清潔

半導體III-V 族 - IMT Co.,Ltd - C3100 Co2 Jet cleaning 晶圓框架 / 法蘭清潔

C3100 Co2 Jet cleaning 晶圓框架 / 法蘭清潔

C3100 Co2 Jet cleaning提供了晶圓框架乾式清洗解決方案。 12吋晶圓框架僅需90秒製程。
特點:
	1. Co2 Jet cleaning 雙槽式清潔槽。 2. 廠務建置成本低廉，無須進行廢液處理。
標準規範:
	CE
應用:
	TSV / Glass carrier / Wafer
規格:
	8" / 12" 晶圓可置放於Cassette (晶舟)