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  半導體III-V 族 - Fries Research & Technology GmbH - MPR 200 TTV MHU MHU



MPR 200 TTV MHU
雙Sensor設計符合SEMI MF657-0707 對TTV, Bow, Warp量測。 MHU為全自動機, 包含Robot及4個Load port有Sorter功能。
特點:
icon 對Sapphire, 半透明材質有很好的量測效果
標準規範:
應用:
icon TTV, Bow, Warp
規格:
icon Z Axis resolution: 6nm

 
 
 
 
 
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