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  半導體III-V 族 - Fries Research & Technology GmbH - MPR 300 TTV MFE



MPR 300 TTV MFE
多Sensor設計,可針對量測的需求設計最符合的Sensor。
300 MFE為全自動機台機, 包含量測及EFEM Module。
特點:
icon 設計給半導體前段及後段量測用
標準規範:
應用:
icon TTV, Bow,Warp,Step Height,Film Thickness,Stress Topography,Roughness,Bump measurement
規格:

 
 
 
 
 
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