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  半導體III-V 族 - Eco-Snow systems - VersaClean 1200



VersaClean 1200
生態雪球VersaClean 1200系統是台去除蝕刻後所產生的顆粒污染, 以及清除薄膜製程上的有機殘留在各種不同大小的基板和材料,都是使 用我們獨特的二氧化碳清除顆粒污染的雪球清潔設備原理。
生態雪球清潔設備 VersaClean是一台快速,且使用乾氣體及非接觸式的 過程來清除汙染顆粒的環保清潔設備。這台清潔設備比傳統的清洗系統 具有更多的優點:
icon 卓越的清潔性功能
icon 縮短週期時間
icon 機身較小
icon 成本較低
 
 
 
 
 
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