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一般、石化工業用PUMP

  半導體III-V 族

   
 
icon 生態雪球清潔設備
 
   
 
icon ＭicroProf 200 / 300 非接觸式晶圓表面精密光學測量機台: 線寬, 間距, 溝距, 薄膜, 高度差, 粗糙度, 總體厚度差, 3D結構, 彎度, 曲度等量測
icon MicroProf MFE 200/300 非接觸式晶圓表面精密光學測量機台: 線寬, 間距, 溝距, 薄膜, 高度差, 粗糙度, 總體厚度差, 3D結構, 彎度, 曲度等量測
     
icon Auto 6”, 8”, 12” Wafer Sorter
自動6”, 8”, 12”晶圓分類/排序系統
 
   
 
icon Robot, Load Port, Stage, Pre-Aligner, Handler
機械手臂及載台
     
   
 
icon P16 Desktop Profiler, Surface Profile, Step Height, Etch depth, Roughness, Waviness 表面輪廓,蝕刻深度,膜厚量測儀
icon ASIQ Desktop Profiler , Surface Profile, Step Height, Etch depth, Roughness, Waviness表面輪廓,蝕刻深度,膜厚量測儀
icon HRP-340/HRP240,High Resolution Profiler , Surface Profile, Step Height, Etch depth, Roughness, Waviness全自動表面輪廓 蝕刻深度 膜厚量測儀
icon Candela:Optical Surface Defect Analyzers , Surface Profile, Step Height, Etch depth, Roughness, Waviness光學式表面缺陷(Defect) 檢測儀
icon ADE: 3D Optical Surface Profiler 光學式多功能3D顯像輪廓儀
   
 
icon 高真空&超高真空零件
   
     
   
 
icon Photo Mask/ Reticle 光罩/ 倍縮式光罩
 
   
 
icon Nano Imprintor 奈米壓印機
     
   
 
icon GENI-sys: High Pressure Annealing Furnace 高壓回火爐管
   
 
   
 
icon Ultra-thin Film Thickness and Compositional Metrology
   
     
   
 
icon FP650: Repairing mask by laser technology
以雷射修補光罩
icon Merlin: Repairing mask and removing particle contamination by nanobit technology
以鑽石鍍膜針頭修補光罩及去除光罩上污染微粒
icon Rhazer: Removing haze on mask by laser technology without pellicle removal
不必移除pellicle, 直接以雷射去除光罩上的 haze
   
 
   
 
icon 濕製程機台 Wet Bench
icon LED導光板模板雷射雕刻機 Laser Engraving Tool
icon 光阻去除機台 Asher
icon 單晶圓濕製程機台 Single Wafer Wet Process Tool
icon Orion Spray Technology Tool
   
     
   
 
icon Advance Defect Analysis and Management System
缺陷分析管理軟體
   
   
 
icon Reticle cassette/box　 Nikon、Canon 光罩盒
   
     
   
 
icon 退火設備
icon 擴散 & 低壓化學氣相沉積爐管
 
   
 
icon TMC vibration isolation system, magnetic field cancellation system, isolation table
TMC 制振系統
   
     
   
 
icon Flat Panel Surface Profiler 膜厚量測儀
icon Stress Measurement system 應力量測儀
 
   
 
icon Plasma Cleaner 表面電漿清洗機
   
 
icon High Pressure Mercury Lamp
   
   
 
icon EPD偵測儀器及其光學配件
   
     
   
 
icon VLSI standard 校正標準片
   
   
 
icon 3D X-ray電腦斷層掃描儀
icon 微米解析度X-ray電腦斷層掃描儀
icon 奈米解析度X-ray電腦斷層掃描儀
     
     
     
 
     
     



 
 
 
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